微电子工业中空气过滤器的应用

微电子工业中空气过滤器的应用
  20世纪90年代初,国外曾对过滤器玻纤滤纸的含硼问题争吵了一阵,随后,过滤器的微量挥发元素成了芯片厂关注的事情。近几年,国外出现了聚四氟乙烯纤维过滤材料,这种材料没有挥发物,但它是带静电的“驻极体”,少了个隐患,多了个麻烦,过滤后的空气要进行电中和以空气中的离子。目前这种材料的价格偏高,大部分过滤器仍使用玻璃纤维滤纸。过滤器上可能的微量挥发元素主要来源于粘结剂和清洗剂,为芯片厂供货的过滤器厂商碧海青云净化公司在这上面下些功夫。
目前电脑中每天钻进无数灰尘,只可惜电脑没有装过滤器,如果以后电脑中也装上过滤除尘器就好了。粘在集成电路上的粉尘可能造成断路、短路,粉尘直接影响寿力空压机配件产品的成品率。当今,半导体工业(芯片厂)对生产环境空气洁净程度高挑剔,对空气过滤器的要求也苛刻。
衡量芯片集成度的指标之一是“线宽”,即电路上导线的宽度。在以微米计算线宽的年代,人们说制造环境对粉尘粒径的限制是小于线宽的1/10,随着线宽不断变小,1/10之说又变成了1/4、1/2。2002年,普通微机中P4处理器的线宽缩小到了0.13mm,此时任何粉尘都可能损害电路,粒径与线宽的传统比较已经过时了。
芯片厂传统的通风形式是“大循环”,车间的整个天花板上布满过滤器,整个地面为回风栅板。现在芯片厂有些车间使用自带风机的过滤装置,即FFU。大循环和FFU两种形式都能达到足够的洁净度,只是在运行管理和能耗上有所差异。
不论是普通过滤器还是FFU,出厂前都要经过逐台扫描测试。国内目前没有扫描测试方法标准,能挤进芯片厂的过滤器厂家是按欧美标准对过滤器进行扫描测试的。芯片厂的人认为,过滤器传统检验方法用的试验粉尘本身就是污染源,所以芯片厂不买钠焰法和DOP法的帐。

空气中的海盐粒子是所有电子工业的大敌,但空气中海盐粉尘的颗粒比较大,普通过滤器就能将其过滤掉。有人说搞电子工业的理想地点应该远离海岸,可沿海地区经济发达,芯片厂一窝蜂似的就建在了沿海地区,在过滤器上多花点钱就是了。

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